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第73章 納米光刻機一(第1頁)

跟鏡片一起運抵蘇矽的還有大連光源最新研發的激光器,比之前申城微電子使用的鏡片技術要高2-3代,這得益于EUV鏡片加工線的先進技術,背後也有23所離子抛光技術的影子。

而且大連光源提供的激光器使用的也是最問道的DPP-EUV技術,盡管距離ASML最先進的技術還有差距,但用于DUV光刻機已然足夠,海思團隊看到激光器時都信心大增,何洪年知道這應該是用于EUV的光源。

收到鏡片後,溫天洋立刻組織人手開始按照圖紙組裝鏡頭,分别是26枚鏡片與22枚鏡片兩個方案。

無論是哪個方案,對于海思來說難度不小,鏡片最長直徑為1.2m,20多枚鏡片定心安裝,對工藝和量測設備都是超高挑戰,DUV光刻機鏡頭可以看作是放大版的相機鏡頭,由20幾枚凹凸鏡片組成。

與單反鏡頭不同,光刻機的鏡頭上下使用的都是直徑較大的鏡片,中部由直徑較小的鏡片構成,形成漂亮的腰身曲線,腰身的鏡片組還必須能上下移動,用于調節光源。

鏡頭組裝好後還得配備冷卻系統,内部為氣冷裝置,外部則是水冷系統。

路陽跟廖老趕到蘇矽時,海思團隊已經開始着手鏡頭組裝,看着淨室内忙碌的衆人,廖老臉上露出滿意的神色,無論是什麼目的,華微能在這個特殊時間段參與進來,對華國的半導體芯片幫助不小。

何洪年見到廖老與路陽,心中大定,看來廖老還是很關心這邊進度的。

“廖老,非常感謝您的支持,激光器那邊已經驗收,助力不小啊!”

廖老臉上出現不常見到的笑容,說道:“你們也辛苦了,聽路陽說了你們設計的兩套方案,過來看看,無論是光源跟鏡片都是最新的技術,如果在DUV上能穩定,我們受益不小。”

“年哥,鏡頭組裝需要多長時間?”路陽問道,他對工作量一直無法預估,畢竟都是頭一回。

“鏡頭組需要1天時間,冷卻系統1天,這還是我們提前演練過的,原來那台DUV的鏡頭組已經被反複拆卸好幾次了,沒什麼問題,隻是朱易那邊的雙工件台系統耗時要長些,整台設備的組裝最快也要1周左右。”

何洪年對海思團隊的效率是很驕傲的,準備工作做得非常充分。

廖老接着問道:“申城微電子那邊的人到了吧,浸沒式技術已經更新,這次升級直接用最新的吧。”

“前兩天到的,多虧了他們的幫忙,朱教授這邊才能把時間縮短到3天。”

路陽換好衣服,進入内間,系統已經很長時間沒反應了,不知這種非插電情況會否有反應。

何洪年走到廖老身邊低聲問道:“廖老,不知EUV那邊的進度如何了?是否有我們能幫忙的地方?”

看來華微的情況不樂觀啊,廖老并未介意,何洪年這麼多年的堅持,大家都能看到,華微海思在他的帶領下殺出一條血路,外界甚至懷疑其研發實力已不下于三星與蘋果了,隻是受限于市場罷了。

“你們有這心很好,小路說你們有意參與到華芯光學來,我是贊同的,最近局勢不穩,華微的一言一行都在聚光燈下,參與的方式最好隐秘些。”

何洪年一聽大喜,“謝謝廖老!”

“不是謝我,何總啊,無論是DUV還是EUV,明面上都是華芯的,這點你要記住,路陽對于華夏半導體是不可缺少的關鍵,至于EUV的進度,不好說,DUV跟他的差距就像是小學生跟教授。”

盡管答案在預料中,何洪年還是一陣無奈,起步太晚了啊!

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