得益于長期堅持不懈的鍛煉,陳洋也能跟上隊伍從公道五路穿過經國路二段,直達TSMC晶圓十二A廠,這裡是12寸超大晶圓主廠,TSMC在這裡生産7nm芯片,首先要廢掉的就是這裡。
作為現代制造業中精度要求最變态的芯片制造産業,晶圓制造是一個微妙的過程。潔淨車間必須非常幹淨,并且還要不斷清潔。
狙擊小隊已經就位,麗塔、伊娃、索菲亞分别架槍VOERES16在東、南、西三個方向,艾米利亞與陳洋在一起,由陳洋指導目标位置。
但是陳洋看了半天,他發愁了,整個芯片加工廠外圍根本看不到準确結構,他是想打掉空氣過濾系統,這樣正在刻蝕的所有芯片都将報廢,但是治标不治本,打不掉場内的6台ASML3400B光刻機,生産很快會繼續開工,甚至用不了一周,芯片就可以源源不斷繼續生産下去。
陳洋歎了口氣:“缇娜和茲丹卡和我進去!你們算是來着了,今天帶你們去漲漲見識,開開眼界,來全球最先進的芯片生産廠看看,全世界最先進的CPU、GPU、包括Novoo的芯片都是在這裡造出來的。”
“啊?那把這裡毀掉之後,Novoo先生以後的芯片怎麼辦?”缇娜還是很關心她的Novoo先生。
“沒事,他訂了3千萬枚最新設計的芯片,我們暫時達到了芯片設計的頂峰,我已經想得腦漿幹涸,至少半年内是再也想不出來更好的芯片設計方案了,所以這裡該廢就廢掉,艾米利亞聽我指揮,整座工廠為了潔淨程度,都是保持住1.25個大氣壓在運行,你開始在各處打槍吧,造成工廠已經失壓的效果。”陳洋一邊安排一邊帶缇娜和茲丹卡向十二A廠正門走去。
聽着幾聲沉悶的槍聲響起,頓時警鈴大作,陳洋三人走到廠房弧形正門口,頓時兩名安保沖了出來,還未開口,陳洋先一聲訓斥:“守好自己的崗位!廠區失壓了!怎麼回事?”
“我……不知道啊!這位先生,您是?”
陳洋手槍一亮:“科技特勤科!安排我們三人換裝,我們……”他話還沒說完,從大門外跑進來兩個安保大喊:“失壓了!安排工程師們撤離!”
陳洋神色莊重道:“我們進去!”說着帶上缇娜和茲丹卡沖入進場通道,後面還在喊:“先生,胸卡呢,沒有胸卡你進不去的。”結果在人臉識别門口,直接綠色放行,這下後面的聲音才停下來。
他們三人走進清潔室,在抽風室内站了一分多鐘,從清潔室頂部進行毫不客氣的強制風淋,風力之大,陳洋感覺自己的臉都被吹幹和吹變形了。
陳洋感覺他和缇娜和茲丹卡就像是被塞進了吸塵器的内部,因為很明顯噪音是從他們的腳底部傳來的,下面肯定有一台功率巨大的引擎帶動風機抽出空氣和灰塵和絨毛,出于對顯卡散熱技術的熟悉,陳洋對其他兩人說,扇葉切動空氣的音頻特性表現,如果不出意外,應該下面裝着的是渦輪風扇。
通過地面粘性墊子,三人通過在上面行走去除了鞋子上的污垢。
在清潔措施進行完之後,三個人直接穿上了兔子套裝——包括兜帽、套裝和鞋子。這裡的關鍵是從上到下穿上套裝,這樣就不太可能把灰塵和微粒留在自己身上。
三人穿戴齊全“兔子套裝”,然後把穿衣服時候戴着的乙烯基手套扔掉并換新。缇娜提出來一個問題:“我們不是去炸廠房嗎?在這裡這麼認真清潔是為什麼?”
陳洋笑着撇了她一眼:“為了你能進去!達不到清潔的條件,門是打不開的!你别偷懶。”
着裝室内貼着一張明确的着裝要求及流程規範,最後一部分是在鏡子裡上下仔細檢查,下面說如果有同事,也可以和同事一起檢查。所以陳洋他們三人相互對照着檢查點反複檢查了兩遍,以确保進入不會因為衣着不整無法入内。
然後,氣密磁力門開啟的時候,陳洋聽到了輕微地空氣洩壓的聲音,想起來說工廠為了保證無塵環境,一般都會給内部形成一個相對正壓的環境,但是沒想到正壓給得這麼大,艾米利亞那幾槍實在是作用微小。
經過了這樣一番折騰,還沒看到産線已經累得不輕的三人終于進到了晶圓十二A廠内部。
“真高啊!”缇娜沒想到晶圓廠内部空間這麼高大空曠,還蹦了兩下,陳洋連忙說:“你動靜小點,别大喊大叫的。高是因為有些機器有十幾米高,尤其是光刻機。為了整條産線的自動吊艙能盡可能在一個平面下工作,很多機器的高度都必須要做調整,有些必須要提升,或使用加強梁來安裝的。”
很明亮的黃色燈光,589.5nm波長,是由标準鈉燈帶來的光照,這個波長正好是人眼最為敏感的可視波長,同時還是晶圓矽片不太敏感的區段。光刻說到底還是在曝光,所謂刻,就是以光為刀,在矽片上雕刻出來芯片。所以經過多少年的反複實驗,全球的晶圓代工廠都在使用這個标準波長的燈光來照明。
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陳洋帶着兩人跟随芯片生産流程一步步前進,時不時看着半空中繁忙的自動吊艙在軌道上前前後後,運輸着各類物品。
還有不少工程師急促地向外走去,按照流程他們需要快速離開廠房進行避險。
生産一塊芯片主要分為前工序與後工序。在前工序中,一塊大的圓柱形高純度單晶矽體,先被切割成直徑3分米的矽晶圓盤。之後進入“洗淨工序”:用純淨水去除矽圓盤上的金屬、有機物等殘留物。
陳洋仰着頭,看着晶圓在FOUP(天艙系統)内以25片為一組,在位于機器上方的吊艙高速公路上的晶圓廠周圍運送。這一切都是自動協調和自動化的,因此當一台機器上的FOUP完成時,它會被一個自動吊艙拾取并帶到下一台機器,或者放回存儲中等待芯片創建的下一階段。
陳洋看了看吊艙的編号,已經是四位數了,這說明至少有幾千個這樣的吊艙在半空中自行運轉。吊艙“高速公路”延伸了晶圓産線場地的長度,從存儲到工廠再到封裝。在設計之初,就考慮到路徑的自我修複,自我引導。大多數FOUP都是黑色的,以便可以最大限度地減少光線,但有些機器有可以看到的透明窗口。
陳洋對這個廠區并不熟悉,隻能根據經驗向内摸索,抓緊找到光刻機。
這些在空中的吊艙跑得并不慢,目測比一個成年人在地上跑得快,吊艙彙集的區域就是光刻機的出片區,按照這個原理,陳洋在一台卡車後箱那麼大的長方型機器面前停下了腳步,機器裡面發出非常奇怪的頻率很高的聲音。
“嘶~~~~~噌蹭蹭噌~嗡~~嗡~~嘶~~~~~噌蹭蹭噌~嗡~~嗡~~”
光刻機的進片蓋闆居然需要密碼才能打開,陳洋直接用蠻力扯下蓋闆,告訴缇娜:“瞄準那個透鏡組,打爛,後面有一個像放映機燈泡一樣的東西,也打爛,下面那兩個方的用來托舉着晶圓的東西,打爛,好了,一台光刻機就廢了。”他知道告訴缇娜光源發射器什麼透鏡組和超精密雙工件台說了也是白說,幹脆簡明扼要點。
結果第一台就發生險情,缇娜的電磁槍的子彈,是一顆鋼珠,不知道打在光刻機什麼結構上,居然半途反射回來,堪堪擦着陳洋的肩膀過去,茲丹卡連忙把兩人推遠,她經驗豐富,加上烏茲沖鋒槍是傳統子彈,效果更好。
就這樣他們以極快的速度摧毀了6台ASML3400B光刻機,就在三人快跑着離開廠區的時候,身後的安保開槍了,然後他們前面也傳來兩聲沉悶的槍響,陳洋知道艾米利亞在組織壓制,他們三人跑得更快了。
剛彙合到一起,他們發現這下麻煩大了,一群看熱鬧的大嬸圍過來。
“你們是真開槍,還是打着好玩的啊,這槍蠻真的,多少錢買的啊,我買給我家小孫子去玩。”
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